硅酸盐所研制成功钟罩式中频感应SiC晶体生长炉
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zhaizl
9月26日,中国科学院计划财务局组织专家验收组对上海硅酸盐所承担的“‘半钟罩’式中频感应SiC晶体生长炉研制项目”进行了验收。项目验收组认为,该项目完成了合同书规定的任务,达到了各项验收指标,经费使用合理,一致通过验收。
为了提高科研装备的自主创新能力,促进原始性科技创新成果的产出,中国科学院每年安排专项经费用于支持科研装备项目。“‘半钟罩’式中频感应SiC晶体生长炉研制项目”是上海硅酸盐所2006年获得院支持的科研装备研制项目。2年多来,项目课题组在科研人员的共同努力下克服了设备的研制过程中的各种困难,利用研制设备生长出了满足任务书要求的晶体。
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